柳钢气体公司生产区域。

9月25日，记者从广西柳钢气体有限责任公司（以下简称“柳钢气体公司”）获悉，其所属子公司自主生产的纯度达99.9999%的超纯液氧首次供应知名半导体企业，成功迈入“高精尖”市场。

据悉，液氧即液态的氧气，在半导体制造中的应用主要是利用其强氧化性，去除晶圆表面的有机和无机污染物。液氧还应用于芯片制造热氧化工艺，在硅片表面形成氧化膜。

“液氧的纯度直接影响半导体产品的良品率、器件性能稳定等，因此半导体行业对液氧纯度要求非常高。”柳钢气体公司总经理凌波介绍，公司自主生产的超纯液氧纯度为99.9999%（6N），总杂质低于1ppm（百万分之一），意味着杂质总量控制在百万分之一以下，其中氮、氩、甲烷等关键杂质控制在50ppb（十亿分之五十）以下，优于国内外同类产品。

成绩的背后，是柳钢气体公司狠抓技术创新、不断突破技术瓶颈，坚定走产品高端化发展道路的努力。

凌波说，公司从2023年起潜心研发超纯液氧等高端产品，采用“深度冷冻+吸附纯化”组合工艺，实现超纯液氧规模量产。

除了超纯液氧外，柳钢气体公司在稀有气体研发上也取得了一系列成果，形成了氪氙氖氦高纯气体及超高纯液体产品集群，广泛应用于半导体、航天、核电等领域。

凌波表示，公司将不断提升产能和供应链韧性，持续开拓国内国际市场。同时，加大研发投入，推动稀有气体、超纯气体和混合气产品创新，拓展新材料、新能源等新兴领域。